Les tiges de carbure de silicium ont une bonne stabilité chimique et une forte résistance aux acides
L'utilisation à long terme de composants de tige de carbure de silicium au-dessus de 1000 ℃ peut avoir les effets suivants avec l'oxygène et la vapeur d'eau : ①Sic+2O2→Sio2+CO2 ②Sic+4H2O=Sio2+4H2+CO2 La teneur en Sic2 dans le composant augmente progressivement, et la résistance augmente lentement. Pour qu'il vieillisse. Si la vapeur d'eau est trop importante, cela favorisera l'oxydation du SiC. Le H2 produit par la réaction de formule se combine avec l'O2 dans l'air puis réagit avec H2O pour créer un cercle vicieux. Réduire la durée de vie des composants. La tige de carbure de silicium à hydrogène épais (H2) peut réduire la résistance mécanique du composant. L'azote (N2) en dessous de 1200°C peut empêcher le SiC de s'oxyder et de réagir avec le SiC au-dessus de 1350°C, de sorte que le SiC peut être décomposé par le chlore (Cl2) et le Sic peut être complètement décomposé.